Legenda
Электроника для дома

Характеристики некоторых фоторезистов применяемых в промышленности

Фоторезисты ФП-383 и ФП-383М (ТУ 6-14-632-86)

Предназначен для реализации фотолитографических процессов в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем, металлизированных шаблонов, шкал, сеток, печатных плат.

No Характеристики Норма
1 Внешний вид фоторезиста Жидкость красно-корич цвета без осадка
2 Внешний вид пленки фоторезиста Гладкая без разрывов
3 Относительная скорость фильтрации, отн. ед., не более 2,0
4 Кинематическая вязкость при (20+0,5) °C мм2/сек 6,0 - 6,5
5 Разрешаюшая способность, мкм, не более 2,0
6 Толщина пленки фоторезиста, мкм 1,0 - 1,2
7 Число оборотов при нанесении, об/мин 3000,0
8 Устойчивость пленки фоторезиста к проявителю, мин., не менее 3,0
9 Проявитель 2% раствор в воде Na3PO4

Фоторезист ФП-25 (ТУ 6-14-531-89)

Предназначен для реализации фотолитографических процессов в производстве полупроводниковых интегральных приборов и микросхем с глубинным травлением германия и кремния, гальваническим осаждением металлов.

No Характеристики Норма
1 Внешний вид фоторезиста Жидкость красно-корич цвета без осадка
2 Внешний вид пленки фоторезиста Гладкая без разрывов
5 Разрешаюшая способность, мкм, не более 20,0
6 Толщина пленки фоторезиста, мкм 6 - 8
8 Устойчивость пленки фоторезиста к травителю для кремния (HF+HNO3+CH3COOH - 1:10:1), не менее, минут 14,0
9 Проявитель 0,5% водный раствор КОН

Фоторезист ФП-РН-7С (ТУ 6-36-00206842-27-93)

Предназначен для реализации фотолитографических процессов в производстве полупроводниковых приборов, шкал, сеток.

No Характеристики Норма
1 Внешний вид фоторезиста Жидкость красно-корич цвета без осадка
2 Внешний вид пленки фоторезиста Гладкая без разрывов
3 Относительная скорость фильтрации, отн. ед., не более 1,5
4 Кинематическая вязкость при (20+0,5) °C мм2/сек 2,0 - 2,5
5 Разрешаюшая способность, мкм, не более 2,5
6 Толщина пленки фоторезиста, мкм 0,7 - 1,1
7 Число оборотов при нанесении, об/мин 2500,0
8 Контраст проявления пленки, отн. ед., не менее 90,0

Фоторезист ФП-4-04 марка В (ТУ 6-14-1092-88)

Предназначен для реализации фотолитографических процессов в производстве полупроводниковых приборов, больших и сверхбольших интегральных схем с использованием контактного и проекционного экспонирования в области длин волн 300-405 нм. Выпускается трех марок А, В и С

No Характеристики Норма
марка A марка B марка C
1 Внешний вид фоторезиста Жидкость красно-корич цвета без осадка
2 Внешний вид пленки фоторезиста Гладкая без разрывов
3 Относительная скорость фильтрации, отн. ед., не более 2,0 2,0 2,0
4 Кинематическая вязкость при (20+0,5) °C мм2/сек 4,5 15,0 21,5
5 Разрешаюшая способность, мкм, не более 2,0 2,0 2,0
6 Толщина пленки фоторезиста, мкм 0,5 1,5 2,0
7 Число оборотов при нанесении, об/мин 3000,0 3000,0 3000,0
8 Устойчивость пленки фоторезиста к проявителю, мин., не менее 10,0 12,0 15,0
9 Локальная разнотолщинность пленки, нм, не более 20 30 40
10 Светочувствительность, мдж/см2, не более 60 120 150

Фоторезист ФП-27-18БС марка А (ТУ 6-14-424-88)

Предназначен для реализации фотолитографических процессов в производстве печатных плат, микросхем, сеток, шкал, масок с применением гальванической обработки.

No Характеристики Норма
1 Внешний вид фоторезиста Жидкость красно-корич цвета без осадка
2 Внешний вид пленки фоторезиста Гладкая без разрывов
3 Относительная скорость фильтрации, отн. ед., не более 17,0 - 20,0
5 Разрешаюшая способность, мкм, не более 100,0
6 Толщина пленки фоторезиста, мкм 2,6 - 3,4
9 Проявитель 0,6% раствор КОН в воде
10 Светочувствительность, мдж/см2, не хуже 150,0

Фоторезисты ФП-051К и ФП-051Т

Фоторезист ФП-051К (ТУ 6-14-920-86) предназначен для реализации фотолитографических процессов в производстве БИС на подложках с рельефом.

Фоторезист ФП-051Т (ТУ 6-14-919-86) предназначен для реализации фотолитографических процессов в производстве больших интегральных схем

No Характеристики Норма
ФП-051К ФП-051Т
1 Внешний вид фоторезиста Жидкость красно-корич цвета без осадка
2 Внешний вид пленки фоторезиста Гладкая без разрывов
4 Кинематическая вязкость при (20+0,5) °C мм2/сек 55,0 15,5 - 19,5
5 Разрешаюшая способность, мкм, не более 2,0 2,0
6 Толщина пленки фоторезиста, мкм 1,9 - 2,3 1,3
8 Устойчивость пленки фоторезиста к проявителю, мин., не менее 30,0 15,0
9 Проявитель 0,6% раствор КОН в воде

Фоторезисты ФН-11Су и ФН-11СКу (ТУ Р-11433386-4-О-92)

Предназначены для реализации фотолитографичексих процессов в производстве интегральных микросхем, масок, гибких выводных рамок на основе фольгированных диэлектриков, печатных микроплат, форм, и других изделий с использованием кислых и щелочных травителей металлов и сплавов (медь, алюминий, нихром и др.), для гальванического осаждения металлов.

No Характеристики Норма
ФН-11Су ФН-11СКу
1 Внешний вид фоторезиста Прозрачная жидкость коричневого цвета
2 Внешний вид пленки фоторезиста Гладкая без разрывов
4 Кинематическая вязкость при (20+0,5) °C мм2/сек 13+3 150+10
5 Разрешаюшая способность, мкм, не более 8,0 8,0
9 Проявитель Уайт-спирит

|| Главная || О компании || Прайс || Контакты || Полезные советы || Статьи || Справочники и книги || Схемы || Написать письмо с сайта ||
  Канал на YOUTUBE
   
Звонки
01 Сетевые  многомелодийные с живым звуком
02 Сетевые 2-х проводные многомелодийные
03 Сетевые 2-х проводные электронные с одной мелодией
04 Сетевые 2-х проводные эл.механические с одной мелодией и ELIT серия
05 Беспроводные батареечные
06 Беспроводные сетевые

07 Проводные батареечные


Разное
08 Кнопки и другое
Приборы защиты от перепадов напряжения в электросети (барьеры)
 - 09-01 Розеточные
 - 09-50 DIN-реечные
11 Указатели напряжения, мультиметры, искатели скрытои проводки
12 Электро-установочные изделия
13 Кнопки, выключатели, тумблеры, компоненты коммутации
14 Датчики движения, таймеры, фотореле
15 Терморегуляторы
16 Разное
17 Продукция Digi Cop (Харьков)
18 Барьеры RedLine (Харьков)
20 НОВИНКИ
21 Тёплый пол

Мы в Google+
Мы в Youtube

Рейтинг@mail.ru Яндекс.Метрика

Legenda
E-mail:
Рейтинг сайтов Дизайн сайта